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分析系统 型号:TNZ1-Nicolet ECO 1000/2000 |
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适应广泛的半导体工业生产测量要求，设备提供测量性能、测量可靠性、测量内容和方式的标准设置。Nicolet ECO 1000推出后获得国际半导体杂志“主编推荐奖”，成为半导体工业最有价值测量仪器之一。
测量晶片适用范围：100-200mm
系统配置选择：I.单个及多个晶片手动相导测量
II.机械臂控制自动连续测量
SECS/GEM通讯功能
优于SEMI标准技术要求
Nicolet ECO 2000采用全自动、高可靠性的SMIF（标准机械接口）小环境净化输送控制，确保在超净化条件下的分析测量。
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产品图片
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