分析系统
型号:
TNZ1-Nicolet ECO 3000
货号:
主要特点
a)独立的专业分析系统,严格用于晶片分析,长时间的稳定性和优秀的重现性
b)机器人移动样品技术,自动进行样品测定,快速测定能力
c)提供与Nexus相兼容的ECO模块,可自动分析各种尺寸的晶片
d)软件支持SEmI E84、E87、E90、E40 300mm
f)配备自动分析台
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