S7-SPH-1型纳米结构表面检测装置
订货编号：87.21.99.00-x223
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过去很难测量1µm以下的集成电路,金属薄膜,离子注入层等的表面纳米范围内的硬度,强度,变形率等物理性质,如今用此装置可以实现. |
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载荷方式:通过压力元件将压头从两边顶起 |
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最大试验力:2mN 分辨率0.1µm |
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深度测定:0-2µm 分辨率0.1nm |
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压痕观察倍率:100,000倍以上 |
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LB/XWW 2003.12.8
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