无油隔膜泵与介质接触部分采用铝，FPM和聚酰氨材质，这种设计可以使其广泛应用于实验室，工厂的真空过滤，真空浸渍，和做为分子涡轮组合泵的后备泵。它可以达到较低的真空度0.5mbar,有各种流量可供选择。
  根据隔膜泵最终达到的真空度，可以分为：单级隔膜泵系列（ME系列），双级隔膜泵系列（MZ系列），  三级隔膜泵（MD系列），四级隔膜泵（MV系列）。根据流量大小的不同，又可以分为不同型号的泵。
  单级隔膜泵ME系列，最终真空度可达到80mbar,根据流量不同可分为：ME2，ME4,ME8,ME16,ME-4R,ME-4P
  双级隔膜泵MZ系更，最终真空度可达到9mbar,根据流量不同可分为：MZ2,MZ4,MZ2D
  三级隔膜泵MD系列，最终真空度可达到2mbar，只有一种型号：MD4
  四级隔膜泵，最终真空度可达0.7mbar，只有一种型号：MV2

技术参数