B.粗糙度测量系统的测量性能:
测量范围.......................16μm/160μm
最高分辨率..............................0.001μm
取样长度L...................0.08,0.25,0.8,2.5,8
评定长度................1×L,2×L,3×L,4×L,5×L
滤波器............................RC,PC,二乘,高斯
评定参数..........Ra,Rz,Ry,Rt,Rtm,Rp,Rv,Rpm,Rvm,
Rq,△q,λq,△a,Sm,S,D,Sk,Rku,R3y,R3z,NR1,NR2,tp
图像分析功能.......C-N(曲线-NR),A-B(幅度分布-支承率)
C-B(曲线-支承率),B(支承率-图表)
图像放大倍数.........VV100、200、500、1000、2000、5000、
10000、20000、50000、10万、20万
..................VH2、5、10、20、50、100、200、500、
1000、2000、5000
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C.直接轮廓测量系统的评定特性:
测量范围.......................16μm/160μm/1600μm
评定参数....Pp、Pv、Pz、Pt、Pa、Pq
Psk、Pku、P△q、 Psm
图像分析功能...C-B(曲线-支承率),C-N(曲线-NR)
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E.形状测量的主要技术性能:
测量范围................................4mm/20mm
垂直位移分辨率............................0.25μm
测量参数.....水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等9个参数
图形放大倍...Vv、2、5、10、20、50、100、200、500、1000、2000
VH、2、5、10、20、50、100、200、500、1000
测针最大上升/下降角.............................77°/88°
水平分辨率..........................................1μm
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F.驱动箱
滑行速度......0.1、0.2、0.5、0.8、1(mm/秒)
精密基准导轨的直线性.........1μm/40mm
最大测量长度............100mm
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G.传感器:
小行程传感器......标准传感器(TKE100)、圆弧传感器(TKK50)
直线传感器(TKLT300)、齿面传感器(TKZ100)
针尖半径........................................5μm
测针测力..................................0.8mN
外径......................................11mm
大行程传感器............................PM2000
针尖半径................................25μm
测量力调整范围.......................0.02-0.06N
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H.立柱和工作底台:
立柱结构......滚动丝杠升降系统,快慢速机动升降
立柱上升高度...................480mm
工作底台结构...450×600mm、花岗岩平台、两个T型槽
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