|
★电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，取功率反馈进行闭环自动控制
★工作频率：40MHZ
★频率稳定性：＜0.1%
★输出功率：800-1200W
★输出功率稳定性：≤0.5％
★电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处，电场：E＜2/V/m;
磁场：H＜0.2A/m
★电源：220V 30A
★输出工作线圈内径25mm、2.5匝，配三同心外径20mm的石英炬管
★同轴型喷雾器外径6mm，双筒型雾室外径35mm
★氩气流量计规格和载气压力表规格
等离子气流量计 （100-1000）L/H(1.6-16) L/min
辅助气流量计 （10-100）L/H(01.6-1.6) L/min
载气流量计 （10-100）L/H(01.6-1.6)
L/min
载气压力表 （0-0.4）MPA
★冷却水：水温范围（15-25）℃，流量大于7L/min,水压大于0.1mpa，冷却水电阻率大于1MΩ
|
