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HX-A系列传感器是采用扩散硅半导体工艺制作,为硅梁压阻电桥式。结构示意如下。
硅集成微型压阻式加速度传感器中利用了重块的运动。其压阻元件附着在硅梁上,由于受到加速度的作用,硅梁发生弯曲变形,材料受压后发生了电阻的变化。为了输出高质量的信号,消除温度等噪声干扰,将四个单独的传感元件以惠斯通电桥方式连接。这类传感器是被动式的,工作时必须由外部提供电压,输出则接到放大器或直接送显示设备。
主要用途
汽车安全保护气囊;
·遥控运行物(模型、导弹等);
·电脑硬盘保护、电脑鼠标滑轮控制;
·各种运行控制、分析系统;
·其它需加速度参数反馈等系统。
主要技术指标
| 型号 |
HX-A1 |
HX-A10 |
HX-A50 |
HX-A100 |
HX-A1000 |
| 量程 |
±1g |
±10g |
±50g |
±100g |
±1000g |
| 输出电压 |
3V(F·S) |
| 工作电压 |
10V,±5V |
| 非线性度 |
0.5%(F·S) |
| 温度系数 |
0.01%(F·S)/℃ |
| 灵敏度 |
0.1%(F·S) |
| 精度 |
5‰ |
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