传感器，chuanganqi，HX-HX-P系列压力传感器


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HX-HX-P系列压力传感器

   货号:603chc197lf0711
　

HX-HX-P系列传感器是利用MEMS技术研制开发的半导体压力传感器普及成果。采用扩散硅半导体工艺制作，为硅梁压阻电桥式。结构示意如图。


    硅集成压力传感器利用了半导体材料的压阻效应。其压阻元件附着在硅梁上，由于受到压力的作用，硅梁发生弯曲变形，材料受压后电阻发生变化，通过检测电阻的变化量即可测量出压力的大小。为了输出高质量的信号，消除温度等噪声干扰，将四个单独的传感元件以惠斯通电桥方式连接。这类传感器是被动式的，工作时必须由外部提供电压，输出则接到放大器或直接送显示设备。

主要用途
·各种小型压力计；
·各种运行控制、分析系统；
·其它需压力参数反馈的控制系统。
下示为产品的几种封装形式

主要技术指标:

型号 HX-P5 HX-P10 HX-P50 HX-P100
量程 5Kg/cm2 10Kg/cm2 50Kg/cm2 100Kg/cm2
输出电压 2V（F·S）
非线性度 0.5%（F·S）
温度系数 0.01%（F·S）/℃
工作电压 10V，±5V
灵敏度 0.1%（F·S）
精度 5‰
封装形式 DIP、SOP、DIE

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