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采用CMOS工艺制造 |
分辨力低于2mg |
密封全金属封装 |
最大抗冲击能力50000g |
响应带宽可以从30Hz扩展到160Hz |
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汽车:
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车辆安全,紧急刹车系统,ABS,HED角度控制,倾斜感应 |
安全:
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气体输送管道,电梯 |
办公设备:
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计算机外围设备,PAD,鼠标,智能笔,手机 |
游戏设备:
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游戏手柄,姿态,RF接口,菜单选择 |
家用电器:
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数字照相机,振动控制,旋转控制 |
加速度计采用标准CMOS工艺制造,在关键的对流腔加工工序中采用了MEMS工艺完成。在25℃时的加速度输出灵敏度为50
mV/g,加速度计既可以测量动态加速度信号(如振动),也可以测量静态加速度信号(如重力加速度)。传感器为全固态电子器件,提供了50000g的抗冲击能力,可以抵抗安装、使用过程中的偶然损伤,有效降低器件的失效率。加速度提供了温度输出信号,灵敏度为5
mV/K,该路信号可以作为加速度温度补偿的温度信号。 |
管脚定义
VCC--电源,+5Vdc
GND--地
OUT1--X轴加速度输出
OUT2--温度电压输出
其他--管壳引脚,可以电气连接到系统地 |
性能参数
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条件
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最小值
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典型值
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最大值
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单位
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传感器输入
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每轴
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测量范围
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g
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非线性
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±10
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1.0
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%FS
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线性误差
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最佳直线
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±1.0
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2.0
|
度
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横向灵敏度
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|
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±2.0
|
|
%
|
灵敏度
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每轴
|
|
|
|
|
灵敏度
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@Vcc=5Vdc
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45
|
50
|
55
|
mV/g
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加速度输出电压
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@-40℃
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——
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+93
|
%
|
随温度变化
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@+85℃
|
-37
|
|
|
%
|
0g偏差
|
每轴
|
|
|
|
|
0g偏差
|
|
-0.60
|
0.00
|
+0.60
|
g
|
0g输出电压
|
|
1.22
|
1.25
|
1.28
|
V
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0g随温度变化
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相对25℃偏差
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±2.0
|
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mg/℃
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噪声特性
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噪声密度,rms
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无频率补偿
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0.75
|
1.0
|
mg/rHz
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频率响应
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3dB带宽-补偿前
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30
|
|
Hz
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3dB带宽-补偿后
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|
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>160
|
|
Hz
|
温度信号输出
|
|
|
|
|
|
Tout电压
|
|
1.21
|
1.25
|
1.29
|
V
|
灵敏度
|
|
4.6
|
5.0
|
5.4
|
mV/K
|
供电电源
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|
工作电压范围
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4.5
|
5
|
5.5
|
V
|
工作电流
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@Vcc=5V
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3.0
|
5.0
|
8.0
|
mA
|
温度范围
|
|
|
|
|
|
工作温度范围
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-40
|
|
85
|
℃
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