| 基片，jipian，BW10-高温超导薄膜的单晶基片 | |||||||||||||||||||||
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BW10-高温超导薄膜的单晶基片 |
货号:206ll97lxl0901 |
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 氧化锆（ZrO2）单晶基片是最早被开发应用的高温超导基片之一。由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构，一般实际使用的是YSZ单晶―加入钇稳定剂的氧化锆单晶。 它机械、化学稳定性好，价格较低，特别适于用在试验性薄膜制备工作中。 氧化锆也是制作双晶基片（用于高温超导结构技术）的良好材料。
基片规格： 尺 寸： 10x3，10x5，10x10，15x15，Ф15，20x15，20x20，Ф25等； 厚 度： 0.5mm，1.0mm等； 尺寸公差：<±0.1mm； 厚度公差：<±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)； 表面抛光：单面或双面； 取向：＜100＞，＜110＞，＜111＞等； 晶面定向精度：±0.5°； 边缘定向精度： 2°（特殊要求可达1°以内）； 斜切晶片：可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片； Ra：≤5Å（5μm×5μm）； |
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