钆镓石榴石(GGG)是用于磁光薄膜的专用基片。
在光通讯设备中,需大量使用1.3μ及1.5μ的光隔离器,其核心部件为置于磁场中的YIG或BIG薄膜。不同切
向的GGG单晶基片可以做到与这磁光材料晶格的最佳匹配,从而保证YIG、BIG薄膜成功的外延生长。
GGG良好的物理、机械性能和化学稳定性也保证薄膜制备过程中对基片的各项要求。
晶体特性:
晶体结构
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立方
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晶格常数(
Å)
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a
=12.376 Å
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分子式
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Gd3Ga5O12
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熔点(℃)
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1800
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密度(g/cm3
)
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7.05(+0.04,-0.10)
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莫氏硬度
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6-7
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折射率
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1.95
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生长方法
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提拉法
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基片规格:
尺
寸:10x3mm,10x5mm,10x10mm,15x15mm,20x20mm,Ф20mm,Ф1英寸等;
厚
度:0.5mm,1.0mm;
表面抛光:
单面或双面
取
向:<100> <110> <111>;
晶面定向精度:±0.5°;
边缘取向精度:
2°(特殊要求可达1°以内);
斜切晶片:可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜的晶片(倾斜角1°-45°);
Ra:≤5Å(5μm
x 5μm)
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